Target sputtering tembaga-nikel-titanium dibuat dengan paduan tembaga, nikel, dan titanium yang terkontrol. Paduan tersebut menghasilkan material dengan konduktivitas listrik yang baik, ketahanan korosi yang baik, dan kekuatan mekanik yang meningkat. Karena sifat ini, target digunakan dalam berbagai industri, termasuk optik, yang memerlukan pelapis film tipis, elektronik, yang memerlukan lapisan konduktif, aplikasi dekoratif, yang memerlukan pelapis, dan bidang mekanis yang memerlukan pelapis yang tahan lama dan-tahan aus.
Langkah-Langkah Proses Mempersiapkan Target Paduan Tembaga-Nikel-Titanium
Persiapan Bahan Masukan: Gunakan tembaga dan nikel dalam bentuk pelat dan titanium dalam bentuk spons, yang memiliki kemurnian lebih dari 99,9%. Selanjutnya bahan diambil dan ditimbang sesuai dengan komposisi paduan yang diinginkan, yaitu (Cu: 50-70%, Ni: 20-30%, Ti: 10-20%, misalnya Cu-30Ni-5Ti wt%).
Proses Peleburan Vakum: Masukkan bahan awal tembaga, nikel, dan titanium ke dalam wadah dengan perbandingan yang diuraikan di atas. Untuk mendapatkan hasil yang lebih baik, letakkan nikel dan titanium (yang memiliki titik leleh lebih tinggi) di bawah dan letakkan tembaga di atas agar terjadi peleburan secara merata. Setelah itu, Anda harus mengevakuasi tungku untuk mencapai ruang hampa 10^-3 hingga 10^-4 Pa, lalu mengisi ulang dengan argon dengan kemurnian tinggi untuk mencapai atmosfer pelindung. Akhirnya, suhu dinaikkan hingga kisaran 1600-1800 derajat. Karena ini berada di atas titik leleh titanium (1668 derajat), semua logam akan meleleh seluruhnya. Pengadukan dilakukan melalui cara elektromagnetik atau mekanis untuk menghomogenisasi lelehan. Suhu dipertahankan selama 10-20 menit untuk mengurangi segregasi. Terakhir, logam cair dituangkan ke dalam cetakan grafit atau tembaga yang telah dipanaskan sebelumnya dan dibiarkan dingin, membentuk ingot paduan padat.
Perlakuan homogen: Ingot paduan ditempatkan ke dalam tungku ketahanan tipe kotak dan ditahan pada suhu 800-950 derajat (yang berada di bawah suhu solidus paduan) selama 2-4 jam pendinginan tungku.
Pengerjaan panas: Prosesnya melibatkan pemanasan ingot paduan yang dihomogenisasi hingga suhu berkisar antara 700 hingga 900 derajat Celcius. Pada suhu tersebut, paduan melewati mesin tempa searah atau rolling mill untuk diubah bentuknya secara plastis menjadi billet target.
Perlakuan anil: Proses billet melibatkan penyeimbangan suhu hingga 600 hingga 750 derajat Celcius selama 1-2 jam, setelah itu billet dapat didinginkan dengan udara atau tungku.
Pemesinan: Billet target melewati proses seperti pengarahan, pembubutan, dan penggilingan permukaan untuk mendapatkan dimensi target dan penyelesaian permukaan.
Penggunaan target paduan Tembaga-nikel-titanium
Elektronik: Digunakan sebagai lapisan penghalang dalam film tipis untuk semikonduktor dan layar.
Pelapis optik: digunakan untuk aspek produksi cermin dan filter yang sangat reflektif.
Pelapis-tahan abrasi: digunakan pada permukaan perkakas dan cetakan untuk memberikan lapisan pelindung yang keras.
Pelapis dekoratif: digunakan untuk mempercantik casing ponsel, perhiasan, dan barang dekoratif lainnya dengan lapisan pelindung keras.
Aerospace: Digunakan untuk memberikan pelapis fungsional yang tahan terhadap oksidasi tinggi dan suhu tinggi.
