Karakteristik Sasaran FeCrAl
Bentuk Target FeCrAl: Target planar; target berbentuk khusus-. Kemurnian Target FeCrAl: 3N. Dimensi Target FeCrAl: Dibuat sesuai gambar atau disesuaikan dengan spesifikasi.
Metode Persiapan untuk Target Sputtering Besi-Kromium-Paduan Aluminium
Persiapan Bahan Baku dan Pencampuran Serbuk: Serbuk-besi, kromium, dan aluminium dengan kemurnian tinggi dipilih dan ditimbang sesuai dengan rasio komposisi target. Untuk mencegah oksidasi bubuk aluminium, seluruh proses pencampuran dilakukan dalam atmosfer gas inert (misalnya argon).
Desain dan Enkapsulasi Kelongsong: Kelongsong logam dirancang berdasarkan dimensi akhir yang diperlukan untuk target sputtering, dan bubuk paduan campuran dimasukkan ke dalam kelongsong ini.
Perlakuan Degassing: Kelongsong berisi bubuk-mengalami proses degassing vakum bersuhu tinggi untuk menghilangkan gas yang teradsorpsi dalam ruang interstisial bubuk; langkah ini sangat penting untuk memastikan kepadatan material target akhir.
Pengepresan Isostatik Panas (HIP): Kelongsong yang disegel ditempatkan ke dalam tungku Pengepresan Isostatik Panas, di mana, di bawah pengaruh gabungan suhu tinggi dan tekanan yang sangat besar dan seragam, bubuk mengalami konsolidasi langsung untuk membentuk billet target yang padat.
Pemesinan: Menggunakan berbagai teknik pemrosesan mekanis-seperti pembubutan dan penggilingan-bilet dikerjakan menjadi produk target sputtering akhir, sehingga memenuhi semua persyaratan dimensi dan presisi yang ditentukan.
Penerapan Target Sputtering Besi-Kromium-Paduan Aluminium
Dirgantara: Bilah turbin mesin, lapisan pengikat untuk lapisan penghalang termal di ruang bakar; memberikan ketahanan terhadap-oksidasi suhu tinggi dan korosi panas.
Energi & Tenaga: Dinding air boiler, turbin gas, dan-komponen bersuhu tinggi di pembangkit listrik tenaga nuklir; berfungsi sebagai pelapis anti-korosi dan-tahan aus.
Peralatan Industri: Rol tungku perlakuan panas, cetakan kaca, dan pelapis lapisan internal untuk reaktor kimia.
Elektronik / Sensor: Lapisan penghalang difusi, elektroda, pengukur regangan, dan film tipis magnetik.
Saat digunakan sebagai "bahan target", target paduan Fe-Cr-Al berbentuk pelat datar atau tabung berputar dengan dimensi tertentu; mereka tunduk pada persyaratan yang sangat ketat mengenai kemurnian material, kepadatan, dan keseragaman struktur mikro internalnya, untuk memenuhi tuntutan deposisi sputtering magnetron yang presisi.
