Komponen Tungsten Heavy Alloy (WHA) untuk Implantasi Ion
Secara umum, tungsten dan molibdenum merupakan bahan penting untuk komponen yang digunakan dalam sistem implantasi ion, khususnya dalam jalur pancaran. Bahan-bahan ini dipilih karena kemampuannya menahan kondisi implantasi ion yang keras, termasuk suhu tinggi, medan magnet yang kuat, dan gas proses yang agresif.
Mengapa Tungsten dan Molibdenum?
Titik Leleh Tinggi:
Baik tungsten maupun molibdenum memiliki titik leleh yang sangat tinggi, sehingga memungkinkan keduanya tahan terhadap suhu ekstrem yang dihasilkan selama implantasi ion.
Ketahanan Korosi:
Mereka menunjukkan ketahanan terhadap korosi yang sangat baik, yang sangat penting ketika terkena gas reaktif dan produk sampingan dari proses implantasi ion.
Kekuatan Tinggi dan Konduktivitas Termal:
Sifat-sifat ini penting untuk menjaga integritas struktural komponen dan menghilangkan panas secara efisien selama pengoperasian.
Kemurnian Tinggi:
Bahan dengan kemurnian tinggi meminimalkan kontaminasi berkas ion dan bahan yang ditanamkan.
Komponen Implantasi Ion Khas Terbuat dari Tungsten dan Molibdenum:
Kamar:
Ruang vakum yang menampung sumber ion dan area target sering kali terbuat dari tungsten, molibdenum, atau paduannya.
Filamen:
Dalam sumber ion, filamen yang terbuat dari tungsten atau paduan tungsten digunakan untuk menghasilkan plasma tempat ion diekstraksi.
Celah Busur:
Komponen ini membantu membentuk dan mengarahkan berkas ion, dan sering kali terbuat dari tungsten atau molibdenum.
Pemegang dan Katoda:
Berbagai penahan dan katoda dalam sumber ion dan jalur berkas dibuat dari logam tahan api ini.
Suku cadang:
Komponen tungsten dan molibdenum juga digunakan untuk berbagai suku cadang dan penggantian di dalam implanter.
Komponen Garis Sinar:
Komponen dalam garis pancaran, seperti pembatas berkas dan bukaan, juga dapat dibuat dari tungsten atau molibdenum.
Contoh Perusahaan Penyedia Komponen Implantasi Ion :
Namun, Paduan Berat tungsten (WHA), khususnya komposisi W-Ni-Fe dan W-Ni-Cu, banyak digunakan dalam sistem implantasi ion karena kepadatannya yang luar biasa, sifat pelindung radiasi, dan stabilitas termal. Paduan ini ideal untuk komponen yang memerlukan massa tinggi, daya tahan, dan ketahanan terhadap bombardir ion.
Properti Utama untuk Aplikasi Implantasi Ion
✔ Kepadatan Tinggi (17-18,5 g/cm³) – Efektif untuk memblokir hamburan ion dan meningkatkan kontrol sinar.
✔ Pelindung Radiasi Luar Biasa – Meminimalkan-emisi sinar X dan elektron sekunder.
✔ Titik Leleh Tinggi & Stabilitas Termal – Tahan-bombardir ion energi tinggi tanpa deformasi.
✔ Kemampuan Mesin yang Baik – Dapat dikerjakan secara presisi-menjadi bentuk yang rumit (dibandingkan dengan tungsten murni).
✔ Pelepasan Gas Rendah – Penting untuk menjaga kondisi vakum tinggi pada implanter ion.
Komponen WHA Umum dalam Implantasi Ion
Beam Stoppers & Apertures – Mengontrol dan membentuk berkas ion.
Piala Faraday – Mengukur arus berkas ion secara akurat.
Blok Pelindung & Kolimator – Mengurangi hamburan ion yang tidak diinginkan.
Komponen Penanganan Wafer – Komponen tahan lama untuk pemrosesan semikonduktor.
Komponen Insulator – Kekuatan dielektrik tinggi jika diperlukan.
Mengapa Memilih WHA Dibandingkan Tungsten Murni?
Kemampuan mesin yang lebih baik (karena fase pengikat Ni/Fe/Cu).
Ketangguhan patah yang lebih tinggi (kurang getas dibandingkan W murni).
Biaya-efektif untuk geometri kompleks.
Nilai & Kustomisasi yang Tersedia
Kelas Standar: W90NiFe, W93NiFe, W95NiFe, W97NiFe
Komposisi & Dimensi Khusus (batang, pelat, suku cadang mesin)
Permukaan Akhir: Dipoles, digiling, atau dilapisi untuk meningkatkan kinerja.
Jika ada pertanyaan potensial, silakan hubungi kami: info@yitechtrading.com