Target Sputtering Silikon (Si)

Silikon polikristalin, juga disebut polisilikon atau poli-Si, adalah bentuk silikon polikristalin dengan kemurnian tinggi, yang digunakan sebagai bahan baku oleh industri elektronik dan fotovoltaik surya. Polisilikon diproduksi dari silikon tingkat metalurgi melalui proses pemurnian kimia, yang disebut proses Siemens. Proses ini melibatkan distilasi senyawa silikon yang mudah menguap, dan dekomposisinya menjadi silikon pada suhu tinggi. Proses pemurnian alternatif yang sedang berkembang menggunakan reaktor unggun terfluidisasi.

Industri fotovoltaik juga memproduksi silikon bermutu metalurgi (UMG-Si) yang ditingkatkan, menggunakan proses pemurnian metalurgi alih-alih kimia. Ketika diproduksi untuk industri elektronik, poli-silikon mengandung kadar pengotor kurang dari satu bagian per miliar (ppb), sedangkan silikon bermutu surya poli-kristalin (SoG-Si) umumnya kurang murni.

Bahan baku poli-silikon – batang besar, biasanya dipecah menjadi potongan-potongan dengan ukuran tertentu dan dikemas dalam ruang bersih sebelum pengiriman – langsung dicetak menjadi ingot multi-kristalin atau dimasukkan ke dalam proses rekristalisasi untuk menghasilkan bola kristal tunggal. Produk tersebut kemudian diiris menjadi wafer silikon tipis dan digunakan untuk produksi sel surya, sirkuit terpadu, dan perangkat semikonduktor lainnya.

Target sputtering silikon, sebagai material fungsional yang sangat penting, terutama digunakan untuk mendepositkan SiO2, Si3N4, dan lapisan dielektrik lainnya melalui proses sputtering magnetik. Lapisan tipis tersebut dicirikan oleh kekerasan, sifat optik, dielektrik, ketahanan aus dan korosi yang sangat baik, yang secara luas diterapkan pada bidang kaca konduktif transparan LCD, kaca bangunan LOW-E, dan mikroelektronik.

Target planar / putar SiAl

Sasaran penyemprotan SiO2

Sasaran penyemprotan SiC

Sasaran penyemprotan Si3N4

Tag populer: target sputtering silikon (si), pemasok target sputtering silikon (si) Cina, pabrik